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RF Generator

Introduction

是在半导体/LCD/Solar cell等, 为了制造和加工工程核心的等离子体发生 RF Generator。

选择的频率后想要的权力水平的高频波形转达在湛巴。


产品特征

1. 多样的频率频宽设计: 100kHz ~ 500MHz
2. 高力量电力转达 : 最大 50kW 级
3. 多样的联系装备支援 : A/D Interface, RS232C, Device Net, 手边的控制器 (遥控器)
4. 为了稳稳的工程支持高速 Arc cut 技能 : 2usec 以下
5 .各种保护电路 : 过电压, 过电流, 温度, 数量, 漏水, 冷却部分发生不正常时技能停止


50kW           O O              
30kW           O O              
20kW           O O O            
10kW O O O O O O O O O O        
7.5kW O O O O O O O O O O        
5kW O O O O O O O O O O O      
3kW O O O O O O O O O O O O    
2kW O O O O O O O O O O O O O O
1kW O O O O O O O O O O O O O O
500W O O O O O O O O O O O O O O
300W O O O O O O O O O O O O O O
Watt

Hz
100kHz 250kHz 400kHz 800kHz 2MHz 4MHz 13.56
MHz
27.12
MHz
40.68
MHz
60MHz 100MHz 200MHz 300MHz 500MHz
MF RF


Double/Triple RF Generator

1套装备内可以选泽2-3个频率后发生的 Generator。
可以频率可变的 Generator。