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> Products > Component > Matcher
Plasma
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Matcher
Introduction
Matcher 是阻抗自动整合机器。
为了利用在RF Generator内 发生出来的高频和高品质的 Plasma 发生时 供应源和湛巴(塔吉特)之间 阻抗竞争是必要的。
这套机器是这样出力特征的阻抗在50Ω自动竞争的装备。
产品特征
1. 各种条件的产品 Line up : 300W ~ 30kW, 100kHz ~ 500MHz
2. 高速阻抗相配 : 从 preset规定后 0.5秒以内
3. 广大的阻抗相配磅
4. 各种资料出力和数码表示 : 进行频和反射频电力, Vpp, Vdc, Irf, Matching Position
5. 便利的操作 : 不是现成容积调节的, 输入数码数字. (Preset, 0 平衡, 发动机数度等)
6. 提供多样的联系装备 : RS232C, 收编控制器(遥控器)
30kW
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20kW
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10kW
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7.5kW
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5kW
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3kW
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2kW
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1kW
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500W
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300W
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Watt
Hz
100kHz
250kHz
400kHz
800kHz
2MHz
4MHz
13.56
MHz
27.12
MHz
40.68
MHz
60MHz
100MHz
200MHz
300MHz
500MHz
MF
RF
频率 :
2MHz
4MHz / 13.56MHz
4MHz
13.56MHz
电力 :
1kW
2kW
5kW
10kW
Image
Model
Spec
View
PTS-M1K13M
频率 : 13.56MHz
出力 : 1kW
PTS-M10K13M4M
频率 : 4MHz / 13.56MHz
出力 : 10kW
PTS-M2K4M
频率 : 4MHz
出力 : 2kW
PTS-M10K2M
频率 : 2MHz
出力 : 10kW
PTS-M5K4M
频率 : 4MHz
出力 : 5kW