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Matcher


Introduction
Matcher 是阻抗自动整合机器。

为了利用在RF Generator内 发生出来的高频和高品质的 Plasma 发生时 供应源和湛巴(塔吉特)之间 阻抗竞争是必要的。

这套机器是这样出力特征的阻抗在50Ω自动竞争的装备。

产品特征
1. 各种条件的产品 Line up : 300W ~ 30kW, 100kHz ~ 500MHz
2. 高速阻抗相配 : 从 preset规定后 0.5秒以内
3. 广大的阻抗相配磅
4. 各种资料出力和数码表示 : 进行频和反射频电力, Vpp, Vdc, Irf, Matching Position
5. 便利的操作 : 不是现成容积调节的, 输入数码数字. (Preset, 0 平衡, 发动机数度等)
6. 提供多样的联系装备 : RS232C, 收编控制器(遥控器)

30kW           O O              
20kW           O O              
10kW O O O O O O O O O O        
7.5kW O O O O O O O O O O        
5kW O O O O O O O O O O O      
3kW O O O O O O O O O O O O    
2kW O O O O O O O O O O O O O O
1kW O O O O O O O O O O O O O O
500W O O O O O O O O O O O O O O
300W O O O O O O O O O O O O O O
Watt

Hz
100kHz 250kHz 400kHz 800kHz 2MHz 4MHz 13.56
MHz
27.12
MHz
40.68
MHz
60MHz 100MHz 200MHz 300MHz 500MHz
MF RF

频率 : 2MHz 4MHz / 13.56MHz 4MHz 13.56MHz

电力 : 1kW 2kW 5kW 10kW

Image Model Spec View
PTS-M1K13M 频率 : 13.56MHz
出力 : 1kW
PTS-M10K13M4M 频率 : 4MHz / 13.56MHz
出力 : 10kW
PTS-M2K4M 频率 : 4MHz
出力 : 2kW
PTS-M10K2M 频率 : 2MHz
出力 : 10kW
PTS-M5K4M 频率 : 4MHz
出力 : 5kW