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RF Generator

제품 설명

반도체/LCD/Solar cell 등의 제조 및 가공 공정의 핵심인 플라즈마 발생을 위한 RF Generator.

선택된 주파수와 원하는 파워레벨의 고주파 파형을 챔버에 전달합니다.


제품 특징

1.다양항 주파수 대역 설계 : 100kHz ~ 500MHz
2.고출력 전력 전달  : 최대 50kW급
3.다양한 인터페이스 지원 : A/D Interface, RS232C, Device net, 핸디 컨트롤러(리모컨)
4.안정적인 공정을 위한 고속 Arc cut 기능 지원 : 2usec이하
5.각종 보호 회로 : 과전압, 과전류, 온도, 수량, 누수, 냉각팬 등 이상 발생시 기능 정지


50kW           O O              
30kW           O O              
20kW           O O O            
10kW O O O O O O O O O O        
7.5kW O O O O O O O O O O        
5kW O O O O O O O O O O O      
3kW O O O O O O O O O O O O    
2kW O O O O O O O O O O O O O O
1kW O O O O O O O O O O O O O O
500W O O O O O O O O O O O O O O
300W O O O O O O O O O O O O O O
Watt

Hz
100kHz 250kHz 400kHz 800kHz 2MHz 4MHz 13.56
MHz
27.12
MHz
40.68
MHz
60MHz 100MHz 200MHz 300MHz 500MHz
MF RF


Double/Triple RF Generator

1대의 장비에서 2~3가지 주파수를 선택하여
발생 가능한 Generator.
주파수 가변이 가능한 Generator