반도체/LCD/Solar cell 등의 제조 및 가공 공정의 핵심인 플라즈마 발생을 위한 RF Generator.
선택된 주파수와 원하는 파워레벨의 고주파 파형을 챔버에 전달합니다.
RF Generator
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제품 설명
제품 특징
1.다양항 주파수 대역 설계 : 100kHz ~ 500MHz
2.고출력 전력 전달 : 최대 50kW급
3.다양한 인터페이스 지원 : A/D Interface, RS232C, Device net, 핸디 컨트롤러(리모컨)
4.안정적인 공정을 위한 고속 Arc cut 기능 지원 : 2usec이하
5.각종 보호 회로 : 과전압, 과전류, 온도, 수량, 누수, 냉각팬 등 이상 발생시 기능 정지
| 50kW | O | O | ||||||||||||
| 30kW | O | O | ||||||||||||
| 20kW | O | O | O | |||||||||||
| 10kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | ||||
| 7.5kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | ||||
| 5kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | |||
| 3kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | ||
| 2kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O |
| 1kW | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O |
| 500W | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O |
| 300W | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O | O |
Watt
Hz |
100kHz | 250kHz | 400kHz | 800kHz | 2MHz | 4MHz | 13.56 MHz |
27.12 MHz |
40.68 MHz |
60MHz | 100MHz | 200MHz | 300MHz | 500MHz |
| MF | RF | |||||||||||||
