위상 쉬프터 (Phase Shifter)
동시에 복수의 RF Generator에서 동일 챔버에 공급하는 경우 사용합니다.
기본위상신호와 부하전압위상을 비교·피드백하여 위상 제어를 합니다.
 |
 |
 |
 |
 |
 |
| Category | Image | Model | Spec | View |
|---|
