컨설팅

전원발생장치(RF Generator)는 고주파 기술이 집약적으로 구성되어 있습니다.
특히 RF System이 주로 사용되는 플라즈마 공정은
Micro/Nano 단위의 매우 미세하고 정밀한 과정이며,
RF System의 사양에 따라 공정 품질에 많은 영향을 줍니다.

(주)PTS는 역량있는 기술진과 RF 노하우를 바탕으로 고객의 문제점들을 함께 해결해나가겠습니다.
제품 구매는 어느 회사에서도 가능하지만, 오랜 경험이 풍부한 고주파 전문 회사와의 협력으로
보다 안정된 플라즈마 환경과 신뢰성을 확보하실 수 있습니다.

컨설팅 사안

- 독자 사양의 RF Generator 및 Matcher 개발
- 기존 설비의 변경 및 확장, 수리
- 설비 능력 업그레이드 및 최적화
- 관련 부속 장비 및 부품 수배
- RF System 및 공정에 관한 기술 자문

기술 자문의 예

- 플라즈마 방전이 안정하지 않습니다. 균일한 방전을 위한 대책이 있을까요?
- 노이즈 필터•컷 방안을 알고 싶습니다. (ESC, 히터, 열전대 등)
- Ramping up의 속도 및 시간을 안정적으로 하고 싶습니다.
- Matching이 되지 않습니다. Matching 범위를 넓힐 수 있을까요?
- RF Cable이 가열됩니다.
- 여러 가지 주파수로 실험하고 싶습니다.
- 서로 다른 주파수를 동시에 인가하고 싶습니다. (주파수 중첩)
- 장치에 맞는 특별 사양의 RF Generator를 제작하고 싶습니다.