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Matcher


제품 설명
Matcher는 Auto Impedance Matching장치입니다.
RF Generator에서 발생하는 고주파를 이용하여 고품질의 plasma가 발생하려면,
공급원과 챔버간의 임피던스 매칭은 필수적입니다.
이러한 출력 특성 임피던스를 50Ω에 자동으로 매칭시켜주는 장치입니다.

제품 특징
1. 다양한 조건의 제폼 Line up : 300W ~ 30kW, 100kHz ~ 500MHz
2. 고속 임피던스 매칭 : 프리셋 설정에서 0.5초 이내
3. 넓은 임피던스 매칭 포인트
4. 각종 데이터 출력 및 디지털 표시 : 진행파 및 반사파 전력, Vpp, Vdc, Irf, Matching Position
5. 편리한 조작 : 기존 볼륨 조절이 아닌 디지털 수치 입력. (프리셋, 0 밸런스, 모터 스피드 등)
6. 다양한 인터페이스 제공 : RS232C, Device-net, 핸디 컨트롤러(리모컨)

30kW           O O              
20kW           O O              
10kW O O O O O O O O O O        
7.5kW O O O O O O O O O O        
5kW O O O O O O O O O O O      
3kW O O O O O O O O O O O O    
2kW O O O O O O O O O O O O O O
1kW O O O O O O O O O O O O O O
500W O O O O O O O O O O O O O O
300W O O O O O O O O O O O O O O
Watt

Hz
100kHz 250kHz 400kHz 800kHz 2MHz 4MHz 13.56
MHz
27.12
MHz
40.68
MHz
60MHz 100MHz 200MHz 300MHz 500MHz
MF RF

주파수 : 2MHz 4MHz 4MHz / 13.56MHz 13.56MHz

전력 : 1kW 2kW 5kW 10kW

Image Model Spec View
PTS-M1K13M 주파수 : 13.56MHz
출력 : 1kW
PTS-M10K13M4M 주파수 : 4MHz / 13.56MHz
출력 : 10kW
PTS-M2K4M 주파수 : 4MHz
출력 : 2kW
PTS-M10K2M 주파수 : 2MHz
출력 : 10kW
PTS-M5K4M 주파수 : 4MHz
출력 : 5kW