제품 설명
Matcher는 Auto Impedance Matching장치입니다.
RF Generator에서 발생하는 고주파를 이용하여 고품질의 plasma가 발생하려면,
공급원과 챔버간의 임피던스 매칭은 필수적입니다.
이러한 출력 특성 임피던스를 50Ω에 자동으로 매칭시켜주는 장치입니다.
제품 특징
1. 다양한 조건의 제폼 Line up : 300W ~ 30kW, 100kHz ~ 500MHz
2. 고속 임피던스 매칭 : 프리셋 설정에서 0.5초 이내
3. 넓은 임피던스 매칭 포인트
4. 각종 데이터 출력 및 디지털 표시 : 진행파 및 반사파 전력, Vpp, Vdc, Irf, Matching Position
5. 편리한 조작 : 기존 볼륨 조절이 아닌 디지털 수치 입력. (프리셋, 0 밸런스, 모터 스피드 등)
6. 다양한 인터페이스 제공 : RS232C, Device-net, 핸디 컨트롤러(리모컨)