위상 쉬프터 (Phase Shifter)
동시에 복수의 RF Generator에서 동일 챔버에 공급하는 경우 사용합니다.
기본위상신호와 부하전압위상을 비교·피드백하여 위상 제어를 합니다.
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| Category | Image | Model | Spec | View |
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| VIPP Sensor |  |
VIPP Sensor | 주파수 : 13.56MHz 출력 : |
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